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編號：

名稱： 大功率微波CVD制備金剛石膜系統(tǒng)的生產(chǎn) 與CVD金剛石膜的工業(yè)應(yīng)用

領(lǐng)域： 先進(jìn)制造

成果形式：

投資額： 萬

案例數(shù)：

技術(shù)階段： 研發(fā)階段

合作方式： 技術(shù)入股

項(xiàng)目簡介：

金剛石有多項(xiàng)指標(biāo)在所有材料中都是最好或者第一位的，如最高的硬度，室溫下最高的導(dǎo)熱性，高光學(xué)透過性，極低的熱膨脹系數(shù)，高化學(xué)穩(wěn)定性等，因此是非常理想的高性能功能材料。本項(xiàng)目利用微波法制備CVD金剛石膜。其中，微波法是高質(zhì)量，大面積，高速率制備CVD金剛石膜的首選方法。目前，因?yàn)?span>CVD金剛石膜的戰(zhàn)略性應(yīng)用前景，發(fā)達(dá)國家對我國限制進(jìn)口該材料先進(jìn)的制備系統(tǒng)。因此需要國產(chǎn)化系統(tǒng)的研制和生產(chǎn)，以滿足我國對CVD金剛石膜應(yīng)用的需求。目前國外已經(jīng)將CVD金剛石膜用于高速飛行器的紅外導(dǎo)引頭，衛(wèi)星上的紅外窗口材料，大功率CO₂激光器的窗口材料；超大功率的微波輸出窗口材料，高端散熱器；高穩(wěn)定性電化學(xué)電極；首飾級單晶鉆石；以及輻射探測器等多方面得到了廣泛的應(yīng)用。

主要功能和指標(biāo)：能夠生產(chǎn)微波功率為：1.0kW，5.0kW，8.0kW（2450MHz）和30-100kW（915MHz）的微波CVD制備金剛石膜系統(tǒng)，能夠生產(chǎn)直徑200毫米的工具級金剛石膜以及120毫米直徑的光學(xué)級金剛石膜窗口材料。

技術(shù)水平：國內(nèi)領(lǐng)先，接近國際最先進(jìn)的SEKI生產(chǎn)的設(shè)備技術(shù)。

市場分析與前景：目前國外已經(jīng)將CVD金剛石膜用于高速飛行器的紅外導(dǎo)引頭，衛(wèi)星上的紅外窗口材料，大功率CO₂激光器的窗口材料；超大功率的微波輸出窗口材料，高端散熱器；高穩(wěn)定性電化學(xué)電極；首飾級單晶鉆石；以及輻射探測器等多方面得到了廣泛的應(yīng)用。

應(yīng)用領(lǐng)域：國防，太空科研，激光，核聚變，醫(yī)療，工業(yè)制造，電子器件。

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