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熱場(chǎng)材料創(chuàng)新中心
編號(hào):
名稱(chēng): 熱場(chǎng)材料創(chuàng)新中心
領(lǐng)域: 材料科學(xué)
成果形式:
投資額: 萬(wàn)
案例數(shù):
技術(shù)階段: 概念階段
合作方式:

方案詳述

熱場(chǎng)材料創(chuàng)新中心

熱場(chǎng)材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一,在單晶硅生長(zhǎng)、多晶硅生長(zhǎng)、碳化硅單晶生長(zhǎng)、半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)等環(huán)節(jié)發(fā)揮重要作用,其中的高端產(chǎn)品至今仍為美、日、德等國(guó)外企業(yè)所壟斷。甬江實(shí)驗(yàn)室熱場(chǎng)材料創(chuàng)新中心致力于解決熱場(chǎng)材料材料 “卡脖子”問(wèn)題,近期聚焦碳化硅涂層材料(用于外延)、碳化鉭涂層材料(用于碳化硅單晶生長(zhǎng))和整體碳化硅材料(用于刻蝕)等的基礎(chǔ)科學(xué)問(wèn)題和應(yīng)用研究。

中心通過(guò)研發(fā)解決了碳化硅涂層材料易于剝落、壽命不足的問(wèn)題,相關(guān)產(chǎn)品性能已比肩國(guó)際領(lǐng)先水平,通過(guò)國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體廠商的認(rèn)證并形成小規(guī)模銷(xiāo)售。中心同步研發(fā)了碳化鉭涂層材料和整體碳化硅材料樣品,均屬突破國(guó)外卡脖子的芯片加工關(guān)鍵部件,已分別送樣給下游客戶(hù)進(jìn)行驗(yàn)證。

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